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在CVD專用氫氣發生器進行升級時注意事項

發布來源:上海祗美電子科技有限公司  發布日期: 2021-10-13  訪問量:2205

在CVD專用氫氣發生器進行升級時注意事項

1、系統保護

升級后,原有的保護還是必須存在的,就是壓力保護,當在線干燥塔與系統壓力差大于標準時,是不會切換的,干燥系統會反復沖壓,使在線干燥塔的壓力值與系統壓力值無限接近,起碼小于標準。

2、切換方向性

原用切換裝置在外面是看不到具體的切換方向,只能通過觸摸屏上的顯示畫面才能判斷哪個干燥塔在線,哪個干燥塔再生。升級后,調節控制器外有指向坐標,可以直接判定在線干燥塔和再生干燥塔,但需要安裝時,初始位置的設定必須調節器和四通閥開通方向一致。

3、開機時,先用原料氫置換系統,從閥放空,待系統內的高純氮置換干凈后,根據用戶的原料氫內的含氫量和所需高純氫量,來選定操作溫度、操作壓力和馳放氣量,然后再通電加熱鈀管,從閥流出高純氫。

4、切換用時

原用馬達切換是瞬時切換,動作快,升級后調節器切換一次的動作用時是標準,比原馬達用時要長,但切換平穩,系統壓力不會產生過大的波動。升級后程序中電磁閥開啟的時間要進行重新設定,否則會在切換過程中開啟一次,隨有壓力保護會瞬間關閉,但是也容易使系統出口壓力產生下降,易造成下級設備(壓縮機)跳機。

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